Verarbeitungsanlage
für Polysilizium

Die Aufgabe – Verarbeitungsanlage für Polysilizium

Fördern · Verarbeitung

Der weltweit führende Produzent von Polysilizium benötigt eine automatisierte Verarbeitungsanlage für hochreines Polysilizium zur späteren Verwendung in der Elektronikindustrie.

Die Anlage soll eine Verarbeitungskapazität von 4.000 t Polysilizium pro Jahr erreichen. Das Ausgangsmaterial wird als Polysiliziumstangen mit einem Gewicht von etwa 70 kg pro Stange angeliefert.

Der Prozess umfasst die vollständige Verarbeitung der Polysiliziumstangen von der Zerkleinerung über Sortierung und Reinigung bis zur automatisierten Verpackung.

Die technische Herausforderung

Die wesentlichen Anforderungen an die Anlage sind:

• Produktreinheit von < 500 ppt
• automatisierte Verarbeitung der Polysiliziumstangen
• berührungsloses Zerkleinern zur Minimierung von Produktkontamination
• definierte Sortierung des gebrochenen Materials
• nasschemische Reinigung der Polysiliziumoberflächen
• automatisierte Trocknung
• präzise Verpackung in 5-kg-Beutel
• Füllgenauigkeit von ±50 g
• Doppelverpackung in PE-Beutel
• durchgängige Material- und Batch-Verfolgung nach SEMI-Kriterien

Die Lösung – Verarbeitungsanlage für Polysilizium

ALZTEC entwickelt und liefert eine durchgängige automatisierte Verarbeitungsanlage für Polysilizium mit Fördertechnik, Verarbeitungsanlagen, Verpackungstechnik, Anlagensteuerung und intelligentem Materialverwaltungssystem.

Um höchste Reinheit zu erzielen, setzt das Team auf spezielle Werkstoffe und patentierte Verfahren.

Bereits beim Brechvorgang sorgt ein berührungsloses Hochspannungspulsbrechen mit 200 kV und 5 Hz für eine minimale Kontamination.

Anschließend teilt eine eigens konstruierte Nasssiebanlage das gebrochene Material in verschiedene Fraktionen und füllt es in Ätzkörbe. Über eine mit moderner Fördertechnik vernetzte Ätzanlage entfernt ein nasschemischer Prozess feinste Partikel von der Oberfläche.

Danach trocknet das System das Silizium und verpackt es vollautomatisch in 5-kg-PE-Beutel. Die Verpackung erfolgt als Doppelverpackung.

Das Materialverwaltungssystem übernimmt die Material- und Batch-Verfolgung nach SEMI-Kriterien über die einzelnen Prozessschritte.

Das Ergebnis

ALZTEC realisiert eine durchgängige automatisierte Prozesskette für die Verarbeitung von hochreinem Polysilizium auf höchstem Niveau.

Die Anlage verbindet Zerkleinerung, Sortierung, nasschemische Reinigung, Trocknung und Verpackung mit automatisierter Fördertechnik sowie Material- und Batch-Verfolgung.

Damit werden die definierten Anforderungen an Kapazität, Produktreinheit, Verpackungsgenauigkeit und Rückverfolgbarkeit in einer durchgängigen technischen Lösung abgebildet.

Die Fakten