Verarbeitungsanlage
für Polysilizium

Die Aufgabe

Fördern
Verarbeitung

Der weltweit größte Produzent von Polysilizium will das Brechen, Sortieren, Reinigen und Verpacken von Polysilizium automatisieren und die Reinheit seines Produkts erhöhen. Mit der Anlage sollen 4.000 t hochreines Polysilizium zur weiteren Verwendung in der Elektronikindustrie verarbeitet werden. Das Kundenmaterial wird in Stangen à ca. 70 kg zur Anlage gebracht. Am Ende soll das gebrochene und gereinigte Polysilizium vollautomatisch in Beutel à 5kg (±50g) aus der Anlage kommen. Zusätzliche Anforderungen sind die hohe Reinheit < 500ppt und die genaue Materialverfolgung nach SEMI-Kriterien.

Die Lösung

Alztec plant und liefert diese revolutionäre Anlage inkl. Materialverwaltungssystem. Unter Verwendung spezieller Materialien und patentierten Verfahren konnte die hohe Reinheit erreicht werden. Das Brechen des Polysiliziums wird durch berührungsloses Hochspannungspulsbrechen mit 200 KV und 5 Hz verwirklicht, wodurch bereits hier eine hohe Reinheit des Polysiliziums gewährleistet wird. Als nächster Schritt wird das gebrochene Material über eine eigens entwickelte Nasssiebanlage in verschiedene Fraktionen unterteilt in Ätzkörbe abgefüllt. Durch eine mit Fördertechnik verbundene Ätzanlage werden für die Sicherstellung höchster Reinheit an der Oberfläche des Silizium durch nasschemische Prozesse Partikel abgetragen. Abschließend wird das hochreine Material getrocknet und in PE-Doppelbeutel verpackt.

Die Fakten

Kapazität: 4.000 Tonnen/Jahr

Alztec Team:
8 MA Konstruktion
10 MA Montage / Inbetriebnahme
6 MA Elektrik / Steuerungstechnik

Anlagen Hauptkomponenten:
1 Hochspannungspulsbrechen
1 Siebanlage
150 Meter Korbfördertechnik
300 Ätzkörbe
1 Ätzanlage
1 Trocknungsanlage
3 Beutelverpackungsanlagen
1 Anlagensteuerung inklusive Visualisierung
1 Materialverwaltungssystem